光配向設備 —— LCD Cell段高端屏製造


SPA255/20

SPA245/10

SPA200係列光配向設備主要應用於IPS TFT-LCD高端顯示屏的配向工藝,可替代傳統的摩擦配向設備。該係列設備能滿足4.5代、5代、6代或更高世代產線光配向製程需求。
   產品特征

● 優異的光學均勻性

● 精確的偏光角控製

● 良好的熱控製

● 優異的載台性能

   主要技術參數
型號 SPA245 SPA255
波長 254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
偏光角精度 ±0.08° ±0.08°
照度均勻性 < 5% < 5%
基板尺寸 730mm×920mm 1100mm×1300mm