長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


SOM245/10

SOM255/10

SOM200係列測量設備主要應用於TFT Array、Color Filter和FOPLP等製程工藝。其中,SOM200/10係列為長寸測量設備,又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機,主要應用於長寸測量,兼容短寸測量,可選配光刻膠膜厚測量;SOM200/10A係列為關鍵尺寸測量設備,主要應用於短寸測量。該係列設備沿用高分辨率曝光機相關技術,可用於4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
   產品特征

● 多功能測量

● 高測量精度

● 高測量效率

● 高效的溫度控製和高效潔淨係統

   主要技術參數

 型號

SOM245

 SOM255

 SOM260

基板尺寸

730mm×920mm

1100mm×1300mm

1500mm×1850mm

1300mm×1500mm

 TP測量重複性

300nm

 300nm

300nm

 TP測量複現性

400nm

500nm

500nm

CD/OL測量重複性

30nm

30nm

30nm

CD/OL測量複現性

40nm

40nm

40nm

Tact Time

5 min

6 min

7 min