金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測


SOC260

SOC260主要應用於G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
   產品特征

● 龍門氣浮結構

● 多自由度激光幹涉儀

● 高精度

● 高效率

● 可配置不同的照明方式

● 可靠的溫度控製係統

   主要技術參數

型號

SOC260 

線寬測量重複性

100nm@3sigma(On Metal Mask)

線寬測量精度

±300nm(On Mapping Glass)

長寸測量重複性

300nm@3sigma(On Mapping Glass)

長寸測量重複性

500nm@3sigma(On Metal Mask)